Áirítear go príomha leis an bpróiseas PVD na céimeanna 3 seo a leanas:
Próiseas pretreatment: sampláil ábhar, bácáil (80 céim), sciath (folús go 4.5P).
Teicneolaíocht phróiseála PVD: Is é prionsabal na teicneolaíochta sciath PVD ná teicneolaíocht urscaoilte stua íseal-voltais agus ard-reatha a úsáid faoi choinníollacha folúis, úsáid a bhaint as urscaoileadh gáis chun an spriocábhar a ghalú agus an t-ábhar galaithe agus gáis a ianú ag an am céanna, agus úsáid a bhaint as an luasghéarú an réimse leictrigh chun an t-ábhar galaithe agus a tháirgí imoibrithe a thaisceadh ar an bpíosa oibre.
Tá tiús na ciseal sciath PVD ag leibhéal miocrón, agus tá an tiús sách tanaí, go ginearálta 0.3μm-5μm. Dá bhrí sin, is féidir leis feabhas a chur ar airíonna fisiceacha agus ceimiceacha éagsúla an dromchla workpiece gan cur isteach ar mhéid bunaidh an workpiece, agus ní gá a phróiseáil a thuilleadh tar éis plating. Trí na paraiméadair ábhartha sa phróiseas sciath a rialú, is féidir dath an sciath a rialú; tar éis an sciath a bheith críochnaithe, is féidir an dath a thomhas le hionstraimí ábhartha, is féidir an dath a chainníochtú, agus is féidir a mheas an gcomhlíonann an dath plátáilte na ceanglais.
Tá fórsa nascáil níos láidre ag an gciseal sciath PVD le dromchla an phíosa oibre, tá cruas níos airde ag an gciseal scannáin, friotaíocht caitheamh níos fearr agus friotaíocht creimeadh, agus tá feidhmíocht an tsraith scannán níos cobhsaí; Ní tháirgeann sciath PVD substaintí tocsaineacha agus truaillithe. Is é cuspóir an sciath maisiúil go príomha feabhas a chur ar chuma, feidhmíocht maisiúil agus dath an workpiece, agus ag an am céanna a dhéanamh ar an workpiece níos chaitheamh-resistant agus creimeadh-resistant a shaol seirbhíse a leathnú.
